Puhutaan mikrosensoreista
Pienoisanturien käsite
(1) Yksittäisen anturin osalta mikroanturilla tarkoitetaan pienikokoista anturia. Esimerkiksi herkän elementin koko vaihtelee mikrometreistä millimetreihin tai jopa nanometriin. Se käyttää pääasiassa tarkkuustyöstöä, mikroelektroniikkaa ja mikroelektromekaanisia järjestelmäteknologioita anturien koon pienentämiseksi.
(2) Integroitujen antureiden osalta mikro-anturit tarkoittavat integroituja antureita, jotka on muodostettu kapseloimalla pienet herkät elementit, signaaliprosessorit ja tietojenkäsittelylaitteet yhdelle sirulle.
(3) Anturijärjestelmän osalta mikroanturi tarkoittaa sitä, että anturijärjestelmä sisältää mikroanturien lisäksi mikrotoimilaitteita, jotka voivat toimia itsenäisesti ja jopa useat mikroanturit voivat muodostaa anturiverkoston.
Mikro-anturien ominaisuudet
(1) Pieni koko ja kevyt; (2) Alhainen virrankulutus; (3) hyvä suorituskyky; (4) Helppo massatuotanto ja alhaiset kustannukset; (5) Helppo integrointi ja monitoimi; (6) Paranna anturin älykkyyttä.
Mikroanturin luokitus
Mitattavien fysikaalisten ominaisuuksien mukaan mikrosensorit jaetaan kemiallisiin mikrosensoreihin, biologisiin mikrosensoreihin, fysikaalisiin mikrosensoreihin jne. ja esitellään lyhyesti kunkin tyypin tyypilliset mikroanturit:
(1) Ionianturi - kemiallinen tyyppi
Ionianturit ovat antureita, jotka muuttavat ioniaktiivisuuden liuoksessa sähköisiksi signaaleiksi. Perusperiaatteena on käyttää herkälle kalvolle kiinnitettyä ionintunnistusmateriaalia sitomaan selektiivisesti havaitut ionit kalvon potentiaalin tai kalvon jännitteen muuttamiseksi havaitsemisen tarkoituksen saavuttamiseksi. Ioniherkkiä antureita käytetään laajalti kemian-, lääke-, elintarvike- ja biotekniikan aloilla.
(2) Geenisensori - biotyyppi
Geenisensori käyttää anturin pinnalle immobilisoitua tunnetun nukleotidisekvenssin omaavaa DNA-molekyyliä hybridisoitumaan toisen komplementaarisen kohde-DNA:n kanssa kaksijuosteisen DNA:n muodostamiseksi. Anturi muuttaa hybridisaatioprosessin tai tuloksen tuottamat muutokset sähköksi ja valoksi. , ääni- ja muut fyysiset signaalit, ja näitä vastesignaaleja analysoimalla saadaan tietoa läheisistä geeneistä.
(3) SAW-anturi - fyysinen tyyppi
Pinta-akustinen aalto-anturi käyttää pinta-akustista aaltotekniikkaa ja MEMS-tekniikkaa muuntamaan erilaisia ei-sähköisiä tietoja, kuten paineen, lämpötilan, virtausnopeuden, magneettikentän voimakkuuden, kiihtyvyyden, kulmanopeuden jne. muutokset värähtelytaajuuden muutoksiksi. pinta-akustisen aallon vibraattorista. asennus.
Mikro-anturisovellukset
Mikroanturit ovat tällä hetkellä menestyneimmät ja käytännöllisimmät mikroelektromekaaniset laitteet, pääasiassa mikropaineanturit ja mikrokiihtyvyysanturit, jotka käyttävät mikrokalvojen mekaanista muodonmuutosta sähköisen signaalin tuottamiseen; Lisäksi on olemassa mikrolämpötila-antureita, magneettikenttäantureita, kaasuantureita. anturit jne. Mikroelektroniikan prosessointiteknologian, erityisesti nanovalmistusteknologian, kehittyessä myös anturitekniikka kehittyy mikrosensoreista nanosensoreihin. Nämä pienoisanturit ovat kooltaan pieniä, ne voivat toteuttaa monia uusia toimintoja, helpottaa massa- ja korkean tarkkuuden tuotantoa, niillä on alhaiset kustannukset kappaletta kohti ja niistä on helppo muodostaa suuria ja monitoimisia ryhmiä. Nämä ominaisuudet tekevät niistä ihanteellisia autosovelluksiin.
Nämä ominaisuudet tekevät niistä ihanteellisia autosovelluksiin. Auton anturit ovat yleinen termi erilaisille antureille, joita käytetään autojen näyttö- ja elektronisissa ohjausjärjestelmissä. Se sisältää paljon fyysisiä määräantureita ja kemiallisia määräantureita. Autojen lämpötila-antureita käytetään pääasiassa moottorin lämpötilan, imukaasun lämpötilan, jäähdytysveden lämpötilan, polttoaineen lämpötilan ja katalyyttisen lämpötilan havaitsemiseen.
Lisäksi mikroantureilla on yhä enemmän sovelluksia johtamisen tehostamisessa, toimistoautomaatiossa ja kodin modernisoinnissa, ja niillä on tärkeä rooli myös ympäristönsuojelussa, biotekniikassa ja älykkäässä liikenteenohjauksessa.